MEMS/MOEMS components and their applications IV : 22-23 January 2007, San Jose, California, USA
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書誌事項
- タイトル
- "MEMS/MOEMS components and their applications IV : 22-23 January 2007, San Jose, California, USA"
- 責任表示
- SSrinivas A. Tadigadapa, Reza Ghodssi, Albert K. Henning, chairs/editors ; sponsored and published by SPIE--the International Society for Optical Engineering
- 出版者
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- SPIE
- 出版年月
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- c2007
- 書籍サイズ
- 28 cm
- シリーズ名/番号
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- pbk.
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注記
Includes bibliographical references and author index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795372811520
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- NII書誌ID
- BA82356933
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- ISBN
- 9780819465771
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Bellingham, Wash.
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- データソース種別
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- CiNii Books