Fundamentals of microfabrication and nanotechnology
書誌事項
- タイトル
- "Fundamentals of microfabrication and nanotechnology"
- 責任表示
- Marc J. Madou
- 出版者
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- CRC Press
- 3rd ed
- 出版年月
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- c2012
- 書籍サイズ
- 29 cm
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795464954240
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- NII書誌ID
- BB06582045
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- ISBN
- 9780849331800
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Boca Raton
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- データソース種別
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- CiNii Books