弗素の触媒作用によるシリコンの低温増速酸化法の開発
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "弗素の触媒作用によるシリコンの低温増速酸化法の開発"
- 責任表示
- 研究代表者 森田瑞穂
- 出版者
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- [森田瑞穂]
- 出版年月
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- 1987.3
- 書籍サイズ
- 26cm
- タイトル別名
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- フッソ ノ ショクバイ サヨウ ニヨル シリコン ノ テイオン ゾウソクサンカホウ ノ カイハツ
- 昭和60・61年度科学研究費補助金(試験研究2)研究成果報告書(課題番号 60850061)
- 試験研究(2) 弗素の触媒作用によるシリコンの低温増速酸化法の開発
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注記
研究課題番号: 60850061
研究代表者: 森田瑞穂 (東北大学 工学部助手)
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795484873600
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- NII書誌ID
- BB12547730
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [仙台]
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- データソース種別
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- CiNii Books