Plasma synthesis and etching of electronic materials : symposium held November 27-30, 1984, Boston, Massachusetts, U.S.A.
書誌事項
- タイトル
- "Plasma synthesis and etching of electronic materials : symposium held November 27-30, 1984, Boston, Massachusetts, U.S.A."
- 責任表示
- editors, R.P.H. Chang, B. Abeles
- 出版者
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- Materials Research Society
- 出版年月
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- c1985
- 書籍サイズ
- 24 cm
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注記
Papers presented at the Symposium on Plasma Synthesis and Etching of Electronic Materials held in Boston, Mass. on Nov. 27-30, 1984
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795494929024
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- NII書誌ID
- BA03290705
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- ISBN
- 0931837030
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- LCCN
- 85003085
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/85003085
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Pittsburgh, Pa.
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- データソース種別
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- CiNii Books