炭化ケイ素結晶の異方性 : 高温酸化と表面プロセス変形によるアプローチ
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "炭化ケイ素結晶の異方性 : 高温酸化と表面プロセス変形によるアプローチ"
- 責任表示
- 成島尚之研究代表
- 出版者
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- [成島尚之]
- 出版年月
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- 2004.5
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- タンカ ケイソ ケッショウ ノ イホウセイ : コウオン サンカ ト ヒョウメン プロセス ヘンケイ ニヨル アプローチ
- 平成14年度-平成15年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書(課題番号14550696)
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795510388224
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- NII書誌ID
- BB10013688
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [仙台]
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- データソース種別
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- CiNii Books