光線基準によるテーブル直進運動精度のナノメータ計測と制御
CiNii
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Bibliographic Information
- Title
- "光線基準によるテーブル直進運動精度のナノメータ計測と制御"
- Statement of Responsibility
- 研究代表者 井川直哉
- Publisher
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- 大阪大学工学部
- Publication Year
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- 1991.3
- Book size
- 26 cm
- Other Title
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- コウセン キジュン ニ ヨル テーブル チョクシン ウンドウ セイド ノ ナノメータ ケイソク ト セイギョ
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Notes
[課題番号]: 01850032
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795512160896
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- NII Book ID
- BB23351344
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- Text Lang
- ja
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- Country Code
- ja
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- Title Language Code
- ja
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- Place of Publication
-
- [吹田]
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- Data Source
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- CiNii Books
