光線基準によるテーブル直進運動精度のナノメータ計測と制御
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "光線基準によるテーブル直進運動精度のナノメータ計測と制御"
- 責任表示
- 研究代表者 井川直哉
- 出版者
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- 大阪大学工学部
- 出版年月
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- 1991.3
- 書籍サイズ
- 26 cm
- タイトル別名
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- コウセン キジュン ニ ヨル テーブル チョクシン ウンドウ セイド ノ ナノメータ ケイソク ト セイギョ
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注記
[課題番号]: 01850032
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795512160896
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- NII書誌ID
- BB23351344
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [吹田]
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- データソース種別
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- CiNii Books
