Characterization and metrology for ULSI technology : 1998 international conference, Gaithersburg, Maryland March 1998
書誌事項
- タイトル
- "Characterization and metrology for ULSI technology : 1998 international conference, Gaithersburg, Maryland March 1998"
- 責任表示
- editors David G. Seiler ... [et al.]
- 出版者
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- American Institute of Physics
- 出版年月
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- c1998
- 書籍サイズ
- 28 cm
- シリーズ名/番号
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- set
- CD-ROM
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注記
Includes bibliographical references and index
"DOE CONF-980364"--T.p. verso
"The 1998 International Conference on Characterization and Metrology for ULSI Technology was held at the National Institute of Standards and Technology from March 23 to March 27, 1998."-pref.
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795534334464
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- NII書誌ID
- BA40663222
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- ISBN
- 1563967537
- 1563968673
- 1563968681
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- LCCN
- 98087959
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/98087959
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- New York
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- データソース種別
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- CiNii Books
