Gettering and deffect engineering in semiconductor technology : GADEST '91 : proceedings of the 4th International Autumn Meeting held in Chossewitz, near Frankfurt(Oder), Germany, October 13-19 1991
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書誌事項
- タイトル
- "Gettering and deffect engineering in semiconductor technology : GADEST '91 : proceedings of the 4th International Autumn Meeting held in Chossewitz, near Frankfurt(Oder), Germany, October 13-19 1991"
- 責任表示
- editors, M. Kittler and H. Richter
- 出版者
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- Sci-Tech Publications
- 出版年月
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- 1991
- 書籍サイズ
- 25 cm
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795579228800
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- NII書誌ID
- BA13437989
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- lh
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Vaduz
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- データソース種別
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- CiNii Books