ウェハー上のマイクロ冷凍機
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "ウェハー上のマイクロ冷凍機"
- 責任表示
- 研究代表者 久保田裕巳
- 出版者
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- [九州大学]
- 出版年月
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- 2008.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- ウェハージョウ ノ マイクロ レイトウキ
- 平成18年度-平成19年度科学研究費補助金(基盤研究(C))研究成果報告書
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注記
研究課題番号: 18560203
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795590742656
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- NII書誌ID
- BA86350429
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [福岡]
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- データソース種別
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- CiNii Books
