シランプラズマ中のSiクラスタの成長機構に関する研究
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "シランプラズマ中のSiクラスタの成長機構に関する研究"
- 責任表示
- 研究代表者渡辺征夫
- 出版者
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- [九州大学]
- 出版年月
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- 2001.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- シラン プラズマチュウ ノ Si クラスタ ノ セイチョウ キコウ ニ カンスル ケンキュウ
- 平成11-12年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(課題番号11450037)
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795593241472
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- NII書誌ID
- BA53127014
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [福岡]
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- データソース種別
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- CiNii Books