原子描画装置の開発

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Bibliographic Information

Title
"原子描画装置の開発"
Statement of Responsibility
研究代表者 宅間博, 清水和子
Publisher
  • [電気通信大学]
Publication Year
  • 1998.7
Book size
30cm
Other Title
  • ゲンシ ビョウガ ソウチ ノ カイハツ

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Notes

課題番号: 07554012

研究代表者: 宅間宏(平成7年度)

研究代表者: 清水和子(平成8年度)

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000795690362752
  • NII Book ID
    BB26721949
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [調布]
  • Data Source
    • CiNii Books
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