原子描画装置の開発
CiNii
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Bibliographic Information
- Title
- "原子描画装置の開発"
- Statement of Responsibility
- 研究代表者 宅間博, 清水和子
- Publisher
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- [電気通信大学]
- Publication Year
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- 1998.7
- Book size
- 30cm
- Other Title
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- ゲンシ ビョウガ ソウチ ノ カイハツ
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Notes
課題番号: 07554012
研究代表者: 宅間宏(平成7年度)
研究代表者: 清水和子(平成8年度)
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795690362752
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- NII Book ID
- BB26721949
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- Country Code
- ja
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- Title Language Code
- ja
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- Place of Publication
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- [調布]
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- Data Source
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- CiNii Books