Proceedings of the Symposium on Highly Selective Dry Etching and Damage Control

Web Site CiNii 所蔵館 2館

書誌事項

タイトル
"Proceedings of the Symposium on Highly Selective Dry Etching and Damage Control"
責任表示
edited by G.S. Mathad, Y. Horiike ; [sponsored by the] Dielectric Sicence and Technology and Electronics Divisio
出版者
  • Electrochemical Society
出版年月
  • c1993
書籍サイズ
23 cm

この図書・雑誌をさがす

注記

Includes bibliographical references and indexes

関連図書・雑誌

もっと見る

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000795698259712
  • NII書誌ID
    BA21435796
  • ISBN
    1566770661
  • LCCN
    93070068
  • Web Site
    https://lccn.loc.gov/93070068
  • 本文言語コード
    en
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    en
  • 出版地
    • Pennington, NJ
  • データソース種別
    • CiNii Books
ページトップへ