マイクロマシン用シリコン微小機構の疲労特性に関する研究

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Bibliographic Information

Title
"マイクロマシン用シリコン微小機構の疲労特性に関する研究"
Statement of Responsibility
研究代表者:辻裕一
Publisher
  • [東京電機大学]
Publication Year
  • 1999.3
Book size
30cm
Other Title
  • マイクロ マシンヨウ シリコン ビショウ キコウ ノ ヒロウ トクセイ ニ カンスル ケンキュウ

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000795725277696
  • NII Book ID
    BA7631885X
  • Text Lang
    ja
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [東京]
  • Data Source
    • CiNii Books
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