マイクロマシン用シリコン微小機構の疲労特性に関する研究

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書誌事項

タイトル
"マイクロマシン用シリコン微小機構の疲労特性に関する研究"
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研究代表者:辻裕一
出版者
  • [東京電機大学]
出版年月
  • 1999.3
書籍サイズ
30cm
タイトル別名
  • マイクロ マシンヨウ シリコン ビショウ キコウ ノ ヒロウ トクセイ ニ カンスル ケンキュウ

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000795725277696
  • NII書誌ID
    BA7631885X
  • 本文言語コード
    ja
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    ja
  • 出版地
    • [東京]
  • データソース種別
    • CiNii Books
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