マイクロマシン用シリコン微小機構の疲労特性に関する研究
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "マイクロマシン用シリコン微小機構の疲労特性に関する研究"
- 責任表示
- 研究代表者:辻裕一
- 出版者
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- [東京電機大学]
- 出版年月
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- 1999.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- マイクロ マシンヨウ シリコン ビショウ キコウ ノ ヒロウ トクセイ ニ カンスル ケンキュウ
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795725277696
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- NII書誌ID
- BA7631885X
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [東京]
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- データソース種別
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- CiNii Books