反応性スパッタ法による透明p型導電性三元酸化物の薄膜作製と評価
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "反応性スパッタ法による透明p型導電性三元酸化物の薄膜作製と評価"
- 責任表示
- 研究代表者 坪井望
- 出版者
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- [坪井望]
- 出版年月
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- 2006.5
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- ハンノウセイ スパッタホウ ニヨル トウメイ pガタ ドウデンセイ サンゲン サンカブツ ノ ハクマク サクセイ ト ヒョウカ
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注記
課題番号: 16560270
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795736118016
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- NII書誌ID
- BA7800539X
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [新潟]
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- データソース種別
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- CiNii Books