反応性スパッタ法による透明p型導電性三元酸化物の薄膜作製と評価

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書誌事項

タイトル
"反応性スパッタ法による透明p型導電性三元酸化物の薄膜作製と評価"
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研究代表者 坪井望
出版者
  • [坪井望]
出版年月
  • 2006.5
書籍サイズ
30cm
タイトル別名
  • ハンノウセイ スパッタホウ ニヨル トウメイ pガタ ドウデンセイ サンゲン サンカブツ ノ ハクマク サクセイ ト ヒョウカ

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注記

課題番号: 16560270

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000795736118016
  • NII書誌ID
    BA7800539X
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    ja
  • 出版地
    • [新潟]
  • データソース種別
    • CiNii Books
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