Surface characterization for computer disks, wafers, and flat panel displays : 28 January 1999, San Jose, California
書誌事項
- タイトル
- "Surface characterization for computer disks, wafers, and flat panel displays : 28 January 1999, San Jose, California"
- 責任表示
- John C. Stover, chair/editor
- 出版者
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- SPIE
- 出版年月
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- c1999
- 書籍サイズ
- 28 cm
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注記
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795741718400
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- NII書誌ID
- BA60546006
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- ISBN
- 0819430897
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- LCCN
- 00502127
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/00502127
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Bellingham, Wash.
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- 分類
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- LCC: TK7887.8.D37
- DC21: 621.3815/2
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- データソース種別
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- CiNii Books