ホログラフィック投影による非平面リソグラフィ法の研究
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書誌事項
- タイトル
- "ホログラフィック投影による非平面リソグラフィ法の研究"
- 責任表示
- 羽根一博研究代表者
- 出版者
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- [羽根一博]
- 出版年月
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- 1998.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- ホログラフィック トウエイ ニヨル ヒヘイメン リソグラフィホウ ノ ケンキュウ
- 平成7-9年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書(研究課題番号07455059)
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795760835328
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- NII書誌ID
- BB03101865
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [仙台]
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- データソース種別
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- CiNii Books