高密度プラズマリアクタ内におけるラジカルの希薄流と表面反応に関する研究
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "高密度プラズマリアクタ内におけるラジカルの希薄流と表面反応に関する研究"
- 責任表示
- 南部健一研究代表者
- 出版者
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- [南部健一]
- 出版年月
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- 2001.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- コウミツド プラズマリアクタ ナイ ニオケル ラジカル ノ キハクリュウ ト ヒョウメン ハンノウ ニカンスル ケンキュウ
- 平成10年度〜平成12年度科学研究費補助金(基盤研究(A)(2))研究成果報告書(研究課題番号10305016)
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795766018432
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- NII書誌ID
- BB0350360X
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [仙台]
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- データソース種別
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- CiNii Books