異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合

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Bibliographic Information

Title
"異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合"
Statement of Responsibility
益一哉, 年吉洋, 町田克之監修
Publisher
  • シーエムシー出版
  • 普及版
Publication Year
  • 2019.4
Book size
26cm
Other Title
  • イシュ キノウ デバイス シュウセキカ ギジュツ ノ キソ ト オウヨウ : MEMS NEMS センサ CMOSLSI ノ ユウゴウ
  • Integration technology for heterogeneous advanced devices : basics and applications
  • 異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMSNEMSセンサCMOSLSIの融合

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Notes

2012年刊の普及版

文献: 各章末(第31章, 第32章には無し)

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000795780806656
  • NII Book ID
    BB28002091
  • ISBN
    9784781313641
  • Text Lang
    ja
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • 東京
  • Classification
  • Subject
  • Data Source
    • CiNii Books
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