Advances in resist technology and processing V : 29 February-2 March, 1988, Santa Clara, California
書誌事項
- タイトル
- "Advances in resist technology and processing V : 29 February-2 March, 1988, Santa Clara, California"
- 責任表示
- Scott A. MacDonald, chair/editor ; sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering
- 出版者
-
- International Society for Optical Engineering
- 出版年月
-
- 1988
- 書籍サイズ
- 28 cm
- シリーズ名/番号
-
- pbk.
この図書・雑誌をさがす
注記
Includes bibliographies and index
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1130000795803431552
-
- NII書誌ID
- BA07915350
-
- ISBN
- 0892529555
-
- LCCN
- 88060780
-
- Web Site
- https://lccn.loc.gov/88060780
-
- 本文言語コード
- en
-
- 出版国コード
- us
-
- タイトル言語コード
- en
-
- 出版地
-
- Bellingham, Wash., USA
-
- 件名
-
- データソース種別
-
- CiNii Books