低加速FIBによる化合物半導体のマスクレス極微領域選択エピタキシーに関する研究
CiNii
所蔵館 1館
書誌事項
- タイトル
- "低加速FIBによる化合物半導体のマスクレス極微領域選択エピタキシーに関する研究"
- 責任表示
- 朴康司研究代表
- 出版者
-
- 朴康司
- 出版年月
-
- 2004.10
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
-
- テイカソク FIB ニヨル カゴウブツ ハンドウタイ ノ マスクレス キョクビ リョウイキ センタク エピタキシー ニカンスル ケンキュウ
この図書・雑誌をさがす
注記
課題番号: 14550298
代表者所属: 豊橋技術科学大学工学部
- Tweet
詳細情報 詳細情報について
-
- CRID
- 1130000795804975232
-
- NII書誌ID
- BA79868766
-
- 本文言語コード
- ja
-
- 出版国コード
- ja
-
- タイトル言語コード
- ja
-
- 出版地
-
- [豊橋]
-
- データソース種別
-
- CiNii Books