低加速FIBによる化合物半導体のマスクレス極微領域選択エピタキシーに関する研究
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "低加速FIBによる化合物半導体のマスクレス極微領域選択エピタキシーに関する研究"
- 責任表示
- 朴康司研究代表
- 出版者
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- 朴康司
- 出版年月
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- 2004.10
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- テイカソク FIB ニヨル カゴウブツ ハンドウタイ ノ マスクレス キョクビ リョウイキ センタク エピタキシー ニカンスル ケンキュウ
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注記
課題番号: 14550298
代表者所属: 豊橋技術科学大学工学部
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795804975232
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- NII書誌ID
- BA79868766
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [豊橋]
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- データソース種別
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- CiNii Books
