Maskentechnik für Mikroelektronik-, Mikrotechnik-Bauteile : Tagung München, 19. und 20. Oktober 1994

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Bibliographic Information

Title
"Maskentechnik für Mikroelektronik-, Mikrotechnik-Bauteile : Tagung München, 19. und 20. Oktober 1994"
Publisher
  • VDI-Verlag
Publication Year
  • c1994
Book size
21 cm

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000795811272960
  • NII Book ID
    BA23893907
  • ISBN
    3180911727
  • Country Code
    gw
  • Title Language Code
    de
  • Place of Publication
    • Düsseldorf
  • Data Source
    • CiNii Books
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