Si結晶中の照射誘起欠陥の動的挙動の解明とプロセス応用
書誌事項
- タイトル
- "Si結晶中の照射誘起欠陥の動的挙動の解明とプロセス応用"
- 責任表示
- 研究代表者佐道泰造
- 出版者
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- [九州大学]
- 出版年月
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- 2000.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- Siケッショウチュウ ノ ショウシャ ユウキ ケッカン ノ ドウテキ キョドウ ノ カイメイ ト プロセス オウヨウ
- 平成10年度-平成11年度科学研究費補助金基盤研究(C)(2)研究成果報告書(課題番号10650013)
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795835231488
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- NII書誌ID
- BA46720260
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [福岡]
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- データソース種別
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- CiNii Books