半導体プロセスにおけるチャージング・ダメージ
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書誌事項
- タイトル
- "半導体プロセスにおけるチャージング・ダメージ"
- 出版者
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- リアライズ・アドバンストテクノロジ
- 出版年月
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- c2006
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- ハンドウタイ プロセス ニオケル チャージング ダメージ
- 半導体プロセスにおけるチャージングダメージ
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注記
編集委員長: 中村守孝. 編集委員: 橋本浩一, 森治久, 小柳光正, Paul Aum
編者のヨミは推量形
1996年2月刊の複製
背と裏表紙に「Realize, Science & Engineering」とあり. (2007年10月、リアライズ・アドバンストテクノロジからRealize, Science & Engineeringに出版事業譲渡されている)
参考文献あり
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795872628480
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- NII書誌ID
- BA88815385
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- ISBN
- 489808074X
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- 東京
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- データソース種別
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- CiNii Books