半導体プロセスにおけるチャージング・ダメージ

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書誌事項

タイトル
"半導体プロセスにおけるチャージング・ダメージ"
出版者
  • リアライズ・アドバンストテクノロジ
出版年月
  • c2006
書籍サイズ
30cm
タイトル別名
  • ハンドウタイ プロセス ニオケル チャージング ダメージ
  • 半導体プロセスにおけるチャージングダメージ

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注記

編集委員長: 中村守孝. 編集委員: 橋本浩一, 森治久, 小柳光正, Paul Aum

編者のヨミは推量形

1996年2月刊の複製

背と裏表紙に「Realize, Science & Engineering」とあり. (2007年10月、リアライズ・アドバンストテクノロジからRealize, Science & Engineeringに出版事業譲渡されている)

参考文献あり

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000795872628480
  • NII書誌ID
    BA88815385
  • ISBN
    489808074X
  • 本文言語コード
    ja
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    ja
  • 出版地
    • 東京
  • データソース種別
    • CiNii Books
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