書誌事項
- タイトル
- "Micromachining and microfabrication"
- 出版者
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- SPIE Optical Engineering Press
- Institution of Electrical Engineers
- 出版年月
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- c1997
- 書籍サイズ
- 26 cm
- シリーズ名/番号
-
- : us
- : uk
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注記
"SPIE press monograph PM40"
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795907028352
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- NII書誌ID
- BA32829782
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- ISBN
- 0819423793
- 0852969112
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- LCCN
- 96040237
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/96040237
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Bellingham, Wash.
- London
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- 件名
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- LCSH: Microlithography
- LCSH: Micromachining
- LCSH: Microfabrication
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- データソース種別
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- CiNii Books
