二周波数励起低運動エネルギイオン照射プロセス成膜装置の開発
CiNii
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Bibliographic Information
- Title
- "二周波数励起低運動エネルギイオン照射プロセス成膜装置の開発"
- Statement of Responsibility
- 大見忠弘研究代表者
- Publisher
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- [大見忠弘]
- Publication Year
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- 1990.3
- Book size
- 26cm
- Other Title
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- ニシュウハスウ レイキ テイウンドウ エネルギイオン ショウシャ プロセス セイマク ソウチ ノ カイハツ
- 平成元年度科学研究費補助金(試験研究(2))研究成果報告書 : (課題番号 63850058)
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Notes
課題番号: 63850058
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795952312576
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- NII Book ID
- BB1236839X
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- Country Code
- ja
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- Title Language Code
- ja
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- Place of Publication
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- [仙台]
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- Data Source
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- CiNii Books