熱CVD法による成膜過程のモンテカルロシミュレーション
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書誌事項
- タイトル
- "熱CVD法による成膜過程のモンテカルロシミュレーション"
- 責任表示
- 南部健一研究代表者
- 出版者
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- [南部健一]
- 出版年月
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- 1990.3
- 書籍サイズ
- 26cm
- タイトル別名
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- ネツ CVDホウ ニ ヨル セイマク カテイ ノ モンテカルロシミュレーション
- 平成元年度科学研究費補助金(一般研究C)研究成果報告書 : (研究課題番号 01550132)
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注記
課題番号: 01550132
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795955782784
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- NII書誌ID
- BB12470578
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [仙台]
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- データソース種別
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- CiNii Books
