低損傷マスクレス3次元微細加工技術の開発
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "低損傷マスクレス3次元微細加工技術の開発"
- 責任表示
- 研究代表者 蒲生健次
- 出版者
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- 大阪大学基礎工学部
- 出版年月
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- 1993.4
- 書籍サイズ
- 30 cm
- タイトル別名
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- テイソンショウ マスクレス 3ジゲン ビサイ カコウ ギジュツ ノ カイハツ
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注記
[課題番号]: 03555003
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795989622016
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- NII書誌ID
- BB23579229
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [豊中]
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- データソース種別
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- CiNii Books