低損傷マスクレス3次元微細加工技術の開発

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Bibliographic Information

Title
"低損傷マスクレス3次元微細加工技術の開発"
Statement of Responsibility
研究代表者 蒲生健次
Publisher
  • 大阪大学基礎工学部
Publication Year
  • 1993.4
Book size
30 cm
Other Title
  • テイソンショウ マスクレス 3ジゲン ビサイ カコウ ギジュツ ノ カイハツ

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Notes

[課題番号]: 03555003

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000795989622016
  • NII Book ID
    BB23579229
  • Text Lang
    ja
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [豊中]
  • Data Source
    • CiNii Books
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