低損傷マスクレス3次元微細加工技術の開発

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書誌事項

タイトル
"低損傷マスクレス3次元微細加工技術の開発"
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研究代表者 蒲生健次
出版者
  • 大阪大学基礎工学部
出版年月
  • 1993.4
書籍サイズ
30 cm
タイトル別名
  • テイソンショウ マスクレス 3ジゲン ビサイ カコウ ギジュツ ノ カイハツ

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注記

[課題番号]: 03555003

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000795989622016
  • NII書誌ID
    BB23579229
  • 本文言語コード
    ja
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    ja
  • 出版地
    • [豊中]
  • データソース種別
    • CiNii Books
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