書誌事項
- タイトル
- "Fundamental electron interactions with plasma processing gases"
- 責任表示
- Loucas G. Christophorou and James K. Olthoff
- 出版者
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- Kluwer Academic/Plenum Publishers
- 出版年月
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- c2004
- 書籍サイズ
- 26 cm
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注記
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000795989884288
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- NII書誌ID
- BA65557815
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- ISBN
- 0306480379
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- LCCN
- 2003064029
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/2003064029
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- New York
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- 分類
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- LCC: QC794.6.C6
- DC22: 539.7/57
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- 件名
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- LCSH: Electron-molecule collisions
- LCSH: Plasma (Ionized gases)
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- データソース種別
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- CiNii Books