書誌事項
- タイトル
- "Electroceramic-based MEMS : fabrication-technology and applications"
- 責任表示
- edited by Nava Setter
- 出版者
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- Springer Science+Business Media
- 出版年月
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- c2005
- 書籍サイズ
- 25 cm
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注記
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000796022389120
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- NII書誌ID
- BA86032070
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- ISBN
- 0387233105
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- LCCN
- 2004058924
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/2004058924
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- New York
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- 件名
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- データソース種別
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- CiNii Books