チャネルエピタキシー法によるSi基板上への3C-SiCの結晶成長

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Bibliographic Information

Title
"チャネルエピタキシー法によるSi基板上への3C-SiCの結晶成長"
Publisher
  • [西野茂弘]
Publication Year
  • 2003.3
Book size
30cm
Other Title
  • チャネル エピタキシー ホウ ニ ヨル Siキバンジョウ エノ 3C-SiC ノ ケッショウ セイチョウ

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Notes

研究代表者: 西野茂弘

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000796034522496
  • NII Book ID
    BA83012554
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [京都]
  • Data Source
    • CiNii Books
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