Characterization and metrology for ULSI technology 2005, Richardson, Texas 15-18 March 2005
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書誌事項
- タイトル
- "Characterization and metrology for ULSI technology 2005, Richardson, Texas 15-18 March 2005"
- 責任表示
- editors, David G. Seiler ... [et al.] ; sponsoring organizations, National Institute of Standards and Technology ... [et al.].
- 出版者
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- American Institute of Physics
- 出版年月
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- c2005
- 書籍サイズ
- 28 cm
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注記
Includes bibliographical references and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000796035803776
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- NII書誌ID
- BA75161355
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- ISBN
- 0735402779
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Melville, N. Y.
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- データソース種別
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- CiNii Books