LFB超音波顕微鏡による電子デバイス材料の特性評価のシステムの実用化に関する研究
CiNii
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Bibliographic Information
- Title
- "LFB超音波顕微鏡による電子デバイス材料の特性評価のシステムの実用化に関する研究"
- Statement of Responsibility
- 三野宮利男研究代表者
- Publisher
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- [三野宮利男]
- Publication Year
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- 1991.3
- Book size
- 26cm
- Other Title
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- LFB チョウオンパ ケンビキョウ ニ ヨル デンシ デバイス ザイリョウ ノ トクセイ ヒョウカ ノ システム ノ ジツヨウカ ニ カンスル ケンキュウ
- 平成元年・2年度科学研究費補助金(試験研究(B)(2))研究成果報告書 : 01850058
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Notes
課題番号: 01850058
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Details 詳細情報について
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- CRID
- 1130000796115384320
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- NII Book ID
- BB12223273
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- Country Code
- ja
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- Title Language Code
- ja
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- Place of Publication
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- [仙台]
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- Data Source
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- CiNii Books
