LFB超音波顕微鏡による電子デバイス材料の特性評価のシステムの実用化に関する研究

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書誌事項

タイトル
"LFB超音波顕微鏡による電子デバイス材料の特性評価のシステムの実用化に関する研究"
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三野宮利男研究代表者
出版者
  • [三野宮利男]
出版年月
  • 1991.3
書籍サイズ
26cm
タイトル別名
  • LFB チョウオンパ ケンビキョウ ニ ヨル デンシ デバイス ザイリョウ ノ トクセイ ヒョウカ ノ システム ノ ジツヨウカ ニ カンスル ケンキュウ
  • 平成元年・2年度科学研究費補助金(試験研究(B)(2))研究成果報告書 : 01850058

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注記

課題番号: 01850058

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000796115384320
  • NII書誌ID
    BB12223273
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    ja
  • 出版地
    • [仙台]
  • データソース種別
    • CiNii Books
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