20nm技術LSI用Cu配線材料の研究

CiNii 所蔵館 1館

書誌事項

タイトル
"20nm技術LSI用Cu配線材料の研究"
責任表示
研究代表者 大貫仁
出版者
  • [茨城大学工学部]
出版年月
  • 2008.5
書籍サイズ
30cm
タイトル別名
  • 20nm ギジュツ LSIヨウ Cuハイセン ザイリョウ ノ ケンキュウ

この図書・雑誌をさがす

注記

課題番号: 17206071

関連図書・雑誌

もっと見る

詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000796146077952
  • NII書誌ID
    BA86747499
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    ja
  • 出版地
    • [日立]
  • データソース種別
    • CiNii Books
ページトップへ