異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合
書誌事項
- タイトル
- "異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSIの融合"
- 責任表示
- 益一哉, 年吉洋, 町田克之監修
- 出版者
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- シーエムシー出版
- 出版年月
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- 2012.11
- 書籍サイズ
- 27cm
- タイトル別名
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- イシュ キノウ デバイス シュウセキカ ギジュツ ノ キソ ト オウヨウ : MEMS,NEMS,センサ,CMOSLSI ノ ユウゴウ
- Integration technology for heterogeneous advanced devices : basics and applications
- High technology information
- 異種機能デバイス集積化技術の基礎と応用 : MEMSNEMSセンサCMOSLSIの融合
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000796147876608
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- NII書誌ID
- BB1082106X
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- ISBN
- 9784781305868
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- 東京
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- データソース種別
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- CiNii Books