高速・高均一デジタルCVDを用いたULSI用高機能性薄膜の作製

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Bibliographic Information

Title
"高速・高均一デジタルCVDを用いたULSI用高機能性薄膜の作製"
Statement of Responsibility
研究代表者 堀池靖浩
Publisher
  • [堀池靖浩]
Publication Year
  • [1997.2]
Book size
30cm
Other Title
  • コウソク・ コウ キンイツ デジタルCVD ヲ モチイタ ULSI ヨウ コウキノウセイ ウスマク ノ サクセイ
  • 平成7年度科学研究費補助金(試験研究B) 研究成果報告書

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Notes

課題番号:05555089

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Details 詳細情報について

  • CRID
    1130000796162491520
  • NII Book ID
    BA71052788
  • Text Lang
    ja
  • Country Code
    ja
  • Title Language Code
    ja
  • Place of Publication
    • [出版地不明]
  • Data Source
    • CiNii Books
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