Proceedings of the Symposium on Ion Implantation and Dielectrics for Elemental and Compound Semiconductors
書誌事項
- タイトル
- "Proceedings of the Symposium on Ion Implantation and Dielectrics for Elemental and Compound Semiconductors"
- 責任表示
- edited by S.J. Pearton, K.S. Jones, V.J. Kapoor ; [sponsored by the] Electronics and Dielectric Science and Technology divisions
- 出版者
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- Electrochemical Society
- 出版年月
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- c1990
- 書籍サイズ
- 23 cm
- タイトル別名
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- Ion implantation and dielectrics for elemental and compound semiconductors
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注記
Includes bibliographical references and indexes
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000796171878656
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- NII書誌ID
- BA1182183X
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- LCCN
- 90084034
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/90084034
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Pennington, NJ
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- 分類
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- LCC: TK7871.85
- DC20: 621.381/52
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- 件名
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- データソース種別
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- CiNii Books
