NF[3]プラズマアシスト反応およびNF[3]熱化学反応によるSiCのフッ素化
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "NF[3]プラズマアシスト反応およびNF[3]熱化学反応によるSiCのフッ素化"
- 責任表示
- 研究代表者田坂明政
- 出版者
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- [田坂明政]
- 出版年月
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- 2001.3
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- NF3 プラズマアシスト ハンノウ オヨビ NF3 ネツカガク ハンノウ ニヨル SiC ノ フッソカ
- 平成11年度-平成12年度科学研究費補助金(基盤研究(C)(2))研究成果報告書
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注記
TRの[3]は下つき文字
課題番号: 11650864
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000796210239616
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- NII書誌ID
- BA51878468
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- 本文言語コード
- ja
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [京都]
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- データソース種別
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- CiNii Books