Atomic layer deposition applications

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書誌事項

タイトル
"Atomic layer deposition applications"
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editors, A. Londergan ... [et al.] ; sponsoring division, Dielectric Science & Technology
出版者
  • Electrochemical Society
出版年月
  • c2007-
書籍サイズ
23 cm
シリーズ名/番号
  • 2
  • 3

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注記

Includes bibliographical references and author index

"... held on October 29 through November 1, 2006 in the Moon Palace Resort, Cancun, Mexico as part of the 210th Meeting of the Electrochemical Society" -- 2

"... held on October 8 and 9, 2007 in the Hilton Washington, Washington, DC as part of the 212th Meeting of the Electrochemical Society."--3

"... held on October 13 through 15, 2008 in Honolulu, Hawaii, as part of the 214th Meeting of the Electrochemical Society" --4

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000796234136832
  • NII書誌ID
    BA82713101
  • ISBN
    9781566775427
    9781566775731
  • 本文言語コード
    en
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    en
  • 出版地
    • Pennington, NJ
  • データソース種別
    • CiNii Books
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