単結晶シリコンインゴットの高能率・高品位マルチ放電スライシング法

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書誌事項

タイトル
"単結晶シリコンインゴットの高能率・高品位マルチ放電スライシング法"
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研究代表者:宇野義幸
出版者
  • 宇野義幸
出版年月
  • 2005.3
書籍サイズ
30cm
タイトル別名
  • タンケッショウ シリコン インゴット ノ コウノウリツ・コウヒンイ マルチ ホウデン スライシングホウ

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注記

平成14年度～平成16年度科学研究費補助金(基盤研究(B)(2))研究成果報告書

課題番号: 14350073

研究分担者: 岡田晃, 岡本康寛

片面印刷

参考文献: 巻末

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000796237995776
  • NII書誌ID
    BA73362061
  • 本文言語コード
    ja
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    ja
  • 出版地
    • [岡山]
  • 分類
  • データソース種別
    • CiNii Books
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