Micromachining and microfabrication process technology VI : 18-20 September 2000, Santa Clara, USA

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タイトル
"Micromachining and microfabrication process technology VI : 18-20 September 2000, Santa Clara, USA"
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Jean-Michel Karam, John Yasaitis, chairs/editors ; sponsored by SPIE--the International Society for Optical Engineering ; cooperating organizations, SEMI--Semiconductor Equipment and Materials International, SolidState Technology, [and] Sandia National Laboratories (USA)
出版者
  • SPIE
出版年月
  • c2000
書籍サイズ
28 cm

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注記

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