Cleaning technology in semiconductor device manufacturing : proceedings of the sixth international symposium
書誌事項
- タイトル
- "Cleaning technology in semiconductor device manufacturing : proceedings of the sixth international symposium"
- 責任表示
- editors, R.E. Novak ... [et al.] ; assistant editors, L. Shive ... [et al.]
- 出版者
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- Electrochemical Society
- 出版年月
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- c2000
- 書籍サイズ
- 24 cm
- タイトル別名
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- Cleaning technology in semiconductor device manufacturing VI
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注記
Includes bibliographical references and indexes
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000796294509056
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- NII書誌ID
- BA53256957
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- ISBN
- 1566772591
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- LCCN
- 00103107
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/00103107
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Pennington, NJ
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- データソース種別
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- CiNii Books