Cleaning technology in semiconductor device manufacturing : proceedings of the sixth international symposium

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書誌事項

タイトル
"Cleaning technology in semiconductor device manufacturing : proceedings of the sixth international symposium"
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editors, R.E. Novak ... [et al.] ; assistant editors, L. Shive ... [et al.]
出版者
  • Electrochemical Society
出版年月
  • c2000
書籍サイズ
24 cm
タイトル別名
  • Cleaning technology in semiconductor device manufacturing VI

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Includes bibliographical references and indexes

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000796294509056
  • NII書誌ID
    BA53256957
  • ISBN
    1566772591
  • LCCN
    00103107
  • Web Site
    https://lccn.loc.gov/00103107
  • 本文言語コード
    en
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    en
  • 出版地
    • Pennington, NJ
  • データソース種別
    • CiNii Books
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