Advances in resist technology and processing XV : 23-25 February 1998, Santa Clara, California

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書誌事項

タイトル
"Advances in resist technology and processing XV : 23-25 February 1998, Santa Clara, California"
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chair/editor Will Conley ; sponsored and published by SPIE--the International Society for Optical Engineer
出版者
  • SPIE
出版年月
  • c1998
書籍サイズ
29 cm
シリーズ名/番号
  • SET

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Includes bibliographical references and index

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000796380945920
  • NII書誌ID
    BA37525151
  • ISBN
    0819427780
  • 本文言語コード
    en
  • 出版国コード
    us
  • タイトル言語コード
    en
  • 出版地
    • Bellingham, Wash., USA
  • データソース種別
    • CiNii Books
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