シリコン表面での拡散係数測定とシミュレーション

書誌事項

タイトル
"シリコン表面での拡散係数測定とシミュレーション"
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研究代表者 渡鍋 文哉
出版者
  • [九州大学]
出版年月
  • 2002.3
書籍サイズ
30cm
タイトル別名
  • シリコン ヒョウメン デノ カクサン ケイスウ ソクテイ ト シミュレーション
  • 平成12年度〜平成13年度科学研究費補助金(基盤研究(C) (2))研究成果報告書

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注記

課題番号: 12650030

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詳細情報 詳細情報について

  • CRID
    1130000796407502336
  • NII書誌ID
    BA58323461
  • 出版国コード
    ja
  • タイトル言語コード
    ja
  • 出版地
    • [福岡]
  • データソース種別
    • CiNii Books
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