減圧CVD成膜における気相反応の電界制御
CiNii
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書誌事項
- タイトル
- "減圧CVD成膜における気相反応の電界制御"
- 責任表示
- 研究代表者 足立元明
- 出版者
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- 足立元明
- 出版年月
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- 2004.5
- 書籍サイズ
- 30cm
- タイトル別名
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- ゲンアツ CVD セイマク ニ オケル キソウ ハンノウ ノ デンカイ セイギョ
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注記
課題番号: 13450329
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000796407537536
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- NII書誌ID
- BA67753461
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- 出版国コード
- ja
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- タイトル言語コード
- ja
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- 出版地
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- [堺]
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- データソース種別
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- CiNii Books