Optical microlithography III : technology for the next decade : March 14-15, 1984, Santa Clara, California
書誌事項
- タイトル
- "Optical microlithography III : technology for the next decade : March 14-15, 1984, Santa Clara, California"
- 責任表示
- chairman/editor: Harry L. Stover
- 出版者
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- S.P.I.E.-- International Society for Optical Engineering
- 出版年月
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- c1984
- 書籍サイズ
- 28 cm
- シリーズ名/番号
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- pbk.
- タイトル別名
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- Optical microlithography 3
- Optical microlithography three
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注記
Includes bibliographies and index
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詳細情報 詳細情報について
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- CRID
- 1130000796476811648
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- NII書誌ID
- BA23981560
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- ISBN
- 0892525053
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- LCCN
- 84050822
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- Web Site
- https://lccn.loc.gov/84050822
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- 本文言語コード
- en
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- 出版国コード
- us
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- タイトル言語コード
- en
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- 出版地
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- Bellingham, Wash., USA
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- 分類
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- LCC: TR940
- DC19: 621.381/74
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- データソース種別
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- CiNii Books